よく使われるフランジ漏れのないシールを形成するために、硬いフランジ表面の間に柔らかいガスケットを押し込む設計になっています。さまざまなガスケット材料には、ゴム、エラストマー (弾性ポリマー)、弾性金属を覆う軟質ポリマー (PTFE で覆われたステンレス鋼など)、および軟質金属 (銅またはアルミニウム) があります。それぞれのフランジのデザインにはメリットがあります。

新しい真空チャンバーを計画するとき、設計者はすべての真空チャンバーを比較する必要があります。フランジ利用可能なデザインを選択してください:

1.必要な真空条件に適合
2.必要な温度条件に適合
3.プロセスの出発原料や製品の影響を受けません
4.システムに追加された OEM フィッティングおよびコンポーネントと一致します
5.その特定のシステムで最も使いやすい
6.総コストが最も低い